出现卡料问题，需要检查哪些呢？

1.轨道宽度。

2.框架翘起的情况。

3.料盒位置的摆放与质量问题。

晶圆盒是用于周转存储晶圆的载具。东虹鑫的12寸晶圆盒，采用独特的卡槽导角设计，可以100%防止卡槽接触到晶元。表面内槽光滑无毛刺，避免晶圆受损及因毛刺发生的卡料问题。采用优质6063铝型材，阳极氧化处理，耐磨耐腐耐高温，不变形起始位精确，减少因磨损与变形导致的铁圈通料不流畅。起始位32.7mm、平整度≦0.05mm，重量6.3kg。

东虹鑫设计生产多款晶圆盒，适合不同机型的使用，耐磨耐高温，不变形。尺寸精准，与设备运行相匹配，0卡料。与多家知名企业长期合作，获得行业内的好评。同时为满足客户需求与实际情况，可非标定制不同规格材质的晶圆盒，48小时出货，非标8天，客服24小时在线.